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半導(dǎo)體拋光液制備裝置

描述：半導(dǎo)體拋光液制備裝置是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體拋光液的專用設(shè)備。

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2024-08-14
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標(biāo)題：半導(dǎo)體拋光液制備裝置

產(chǎn)品概述

半導(dǎo)體拋光液制備裝置是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體拋光液的專用設(shè)備。

它通常由以下幾個(gè)主要部分構(gòu)成：

原料儲存系統(tǒng)：

多個(gè)不同規(guī)格的儲罐，分別用于存放磨料（如納米級二氧化硅、氧化鋁等）、化學(xué)添加劑（如氧化劑、表面活性劑、螯合劑等）以及溶劑（如水、有機(jī)溶劑等）。

精確計(jì)量系統(tǒng)：

高精度的計(jì)量泵或稱重傳感器，能夠按照精確的配方比例準(zhǔn)確地添加各種原料。

攪拌混合系統(tǒng)：

強(qiáng)力攪拌器或均質(zhì)機(jī)，確保各種原料充分混合均勻，達(dá)到微觀層面的均勻性。

溫度控制系統(tǒng)：

加熱和冷卻裝置，可根據(jù)需要控制反應(yīng)和混合過程中的溫度，以優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)和物理混合效果。

過濾系統(tǒng)：

精細(xì)的過濾裝置，如微孔過濾器或超濾膜，用于去除可能存在的大顆粒雜質(zhì)和團(tuán)聚物，保證拋光液的純凈度。

質(zhì)量監(jiān)測系統(tǒng)：

在線粒度分析儀：實(shí)時(shí)監(jiān)測磨料顆粒的粒徑分布。
pH 計(jì)：檢測溶液的酸堿度。
電導(dǎo)率儀：測量溶液的電導(dǎo)率，以評估溶液中離子的含量。

自動(dòng)化控制系統(tǒng)：

對整個(gè)制備過程進(jìn)行自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)記錄，保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

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